Βελτιστοποίηση και ρύθμιση αντιδραστήρα πλάσματος C4F8/Ar από MΟRe φυσικοχημικού μοντέλου
Στοιχεία Διπλωματικής
- Ακαδημαϊκό Έτος:
- 2026 - 2027
- Θεματική Ενότητα:
- Process & Environmental Engineering
- Επιβλέπων:
- Αρμάου
- Υποχρεωτικό Μάθημα 1:
- Microelectronics Technology (CHM_E_Γ4)
- Υποχρεωτικό Μάθημα 2:
- Process Optimization and Control (CHM_E_A2)