ΠΡΟΣΩΠΙΚΟ

ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ

Το Εργαστήριο Τεχνολογίας Πλάσματος (ΕΤΠ) ιδρύθηκε το 1985 και έχει ως αντικείμενο τη διεξαγωγή έρευνας και την παροχή εκπαίδευσης στο πεδίο των διεργασιών πλάσματος για την εναπόθεση λεπτών υμενίων, την τροποποίηση επιφανειακών ιδιοτήτων και την παρασκευή νανοδομημένων υλικών. Οι διεργασίες πλάσματος είναι ένα από τα ταχύτερα αναπτυσσόμενα πεδία στο τομέα της παρασκευής και τροποποίησης προηγμένων υλικών με μεγάλες εφαρμογές σε τομείς όπως η Μικροηλεκτρονική, η Νανοτεχνολογία, η Μίκρο-έλεκτρο-μηχανική και τα Βιοϋλικά.
Η έρευνα στο ΕΤΠ καλύπτει ένα μεγάλο εύρος αντικειμένων που ξεκινά από θεμελιώδεις μελέτες των φυσικοχημικών διεργασιών που λαμβάνουν χώρα στις διεργασίες πλάσματος έως και το σχεδιασμό βιομηχανικών αντιδραστήρων ευρείας κλίμακας. Η συμμετοχή του Εργαστηρίου σε ένα μεγάλο αριθμό εθνικών, ευρωπαϊκών και βιομηχανικών προγραμμάτων έχει οδηγήσει στην απόκτηση υψηλής τεχνογνωσίας σε αντικείμενα όπως η ανάπτυξη νέων διαγνωστικών τεχνικών πλάσματος και η πλήρης προσομοίωση των διεργασιών εναπόθεσης με πλάσμα. Η παρασκευή λεπτών υμενίων άμορφου και μικροκρυσταλλικού πυριτίου με εφαρμογή σε φωτοβολταϊκές διατάξεις λεπτών υμενίων αποτελεί κεντρικό σημείο της έρευνας που υλοποιείται στο εργαστήριο τα τελευταία 25 έτη. Η τεχνογνωσία που έχει αποκτηθεί από αυτή τη μελέτη έχει σήμερα επεκταθεί και σε άλλα αντικείμενα όπως την παρασκευή προστατευτικών επιστρώσεων (SiOx, DLC) καθώς και την τροποποίηση της διαβρεξιμότητας και της χημικής σύστασης επιφανειών (CFx, PDAA, PEO-like, TiOx) με σκοπό τη παρασκευή βιοϋλικών αλλά και μικρο-ρευστομηχανικών βαλβίδων.    

ΒΑΣΙΚΟΣ ΕΞΟΠΛΙΣΜΟΣ

Το Εργαστήριο Τεχνολογίας Πλάσματος έχει σχεδιάσει και εγκαταστήσει πέντε αντιδραστήρες πλάσματος χαμηλής πίεσης και τρεις αντιδραστήρες πλάσματος ατμοσφαιρικής πίεσης για την εναπόθεση και επεξεργασία διαφορετικών υλικών. Επιπλέον, έχει αποκτηθεί ένα μικροσκόπιο σαρωτικής ανίχνευσης (SPM) με δυνατότητες μετρήσεων τοπογραφίας, ηλεκτρικών, μαγνητικών ιδιοτήτων και θερμικής αγωγιμότητας υλικών σε νανοκλίμακα. Στην ίδια διάταξη είναι προσαρμοσμένο οπτικό μικροσκόπιο εγγύς πεδίου για τη βελτίωση της ανάλυσης των νανοδομών και τη μέτρηση ιδιοτήτων όπως ο δείκτης διάθλασης των υλικών. Το Εργαστήριο είναι επίσης εξοπλισμένο με ένα αυτοματοποιημένο γωνιόμετρο με περιβαλλοντικό θάλαμο και ένα μεγάλο αριθμό διαγνωστικών τεχνικών πλάσματος όπως διατάξεις για ηλεκτρικές μετρήσεις, φασματοσκοπία ορατού, φασματογραφία μάζας και ανακλαστικής συμβολομετρίας με λέϊζερ. Τέλος, για την προσομοίωση των διεργασιών πλάσματος έχει εγκατασταθεί συστοιχία υπολογιστών που δίνει τη δυνατότητα προσομοίωσης βιομηχανικών αντιδραστήρων και διατάξεων.
Περισσότερες πληροφορίες για τον εξοπλισμό του εργαστηρίου μπορούν να βρεθούν στο σύνδεσμο http://www.plasmatech.gr/index.php/facilities

ΕΡΓΑ-ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΑ

Το Εργαστήριο Τεχνολογίας Πλάσματος έχει συμμετάσχει και συμμετέχει σε ένα μεγάλο αριθμό εθνικών, ευρωπαϊκών και βιομηχανικών έργων. Πληροφορίες για αυτά τα προγράμματα μπορούν να βρεθούν στο σύνδεσμο http://www.plasmatech.gr/index.php/research/recearch-projects
 Η έρευνα και τα αποτελέσματα του εργαστηρίου δημοσιεύεται σε διεθνή περιοδικά με κριτές και σε πρακτικά συνεδρίων. Οι δημοσιεύσεις του Εργαστηρίου μπορούν να βρεθούν στο σύνδεσμο http://www.plasmatech.gr/index.php/publications