Βελτιστοποίηση και ρύθμιση αντιδραστήρα πλάσματος C4F8/Ar από MΟRe φυσικοχημικού μοντέλου
Στοιχεία Διπλωματικής
- Ακαδημαϊκό Έτος:
- 2026 - 2027
- Θεματική Ενότητα:
- Μηχανικής Διεργασιών & Περιβάλλοντος
- Επιβλέπων:
- Αρμάου
- Υποχρεωτικό Μάθημα 1:
- Μικροηλεκτρονική Τεχνολογία (CHM_E_Γ4)
- Υποχρεωτικό Μάθημα 2:
- Βελτιστοποίηση και Ρύθμιση Διεργασιών (CHM_E_A2)